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在所述肖特基结图案对应区域淀积金属和硅形成金属硅化物，得到肖特基结。在本申请的一种可能实施例中，在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上制作金属层的步骤，包括：在真空度3e-6torr、温度190℃的环境下持续加热45分钟，依次在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上沉积多层金属，制作形成金属层。在本申请的一种可能实施例中，在所述氧化层远离所述肖特基结的两端进行蚀刻形成防水槽的步骤，包括：在所述氧化层远离所述肖特基结两端的表面涂覆光刻胶层；通过带有防水槽图案的掩模对所述光刻胶层进行光刻，在所述光刻胶层上刻出防水槽图案；用腐蚀溶剂进行腐蚀，将所述防水槽图案转移到所述氧化层；蚀刻所述防水槽图案对应区域的氧化层，形成防水槽。本申请实施例提供一种肖特基二极管及其制造方法，通过在氧化层开设朝向外延层凹陷的防水槽，并在氧化层上制作填充于防水槽并在该防水槽对应的位置处形成与防水槽咬合并凸起的钝化层。钝化层与氧化层通过上述凹凸咬合结构层叠在一起，在肖特基二极管使用过程中，即便工作温度发生变化，钝化层与氧化层结合处的剪切力也不足以形成供水汽侵入肖特基结的微小缝隙。同时，因氧化层开设有防水凹槽。上海藤谷电子科技有限公司二极管值得用户放心。江西专业二极管进货价

本发明的另一个实施例提供了一种整流电路，包括上述任一实施例所述的用于整流电路的肖特基二极管。与现有技术相比，本发明的有益效果：本发明通过对肖特基二极管的材料进行设计，采用应变ge层作为肖特基接触的半导体层，通过对ge材料的能带结构进行调制，使肖特基二极管具有更高的电子迁移率和能带优势，使用该肖特基二极管制备的整流电路具有更高的转换效率；本发明在ge层上增加通过压应力层施加压应力，工艺简单，且生成的应变ge层不会因为晶格失配产生大量缺陷，因此得到的应变ge层质量更好，因此，肖特基二极管的器件性能也更优；本发明的肖特基二极管结构简单，无需设计复杂的二极管结构，元件的互连结构简单。附图说明图1为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的制备工艺的流程示意图；图3a～3h为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的工艺示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。实施例一请参见图1，图1为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的结构示意图。江西专业二极管进货价上海藤谷电子科技有限公司是一家专业提供二极管的公司，欢迎您的来电！

电容量：电容量是由TVS雪崩结截面决定的，是在特定的1MHz频率下测得的。大小与TVS的电流承受能力成正比，太大将使信号衰减。因此，结电容是数据接口电路选用TVS的重要参数。注：TVS二极管的选型比较大箝位电压VC要小于电路允许的比较大安全电压。截止电压VRWM大于电路的比较大工作电压，一般可以选择VRWM等于或者略大于电路的比较大工作电压。额定的比较大脉冲功率（TVS参数中给出）PM要大于比较大瞬态浪涌功率。如：sim卡座端的静电保护为了提供良好的ESD保护，建议添加TVS二极管阵列。重要的规则是将ESD保护装置放置在靠近SIM卡连接器处，并确保被保护的SIM卡接口信号线首先通过ESD保护装置，然后通向模块。22Ω电阻应在模块和SIM卡之间串联连接，EMI杂散传输，增强ESD保护。SIM卡电路应该靠近SIM卡连接器，将所有信号线上的旁路电容放置在SIM卡附近，以改善EMI效果。静电保护二极管在电路正常工作时，ESD保护管属于高阻状态，不会影响线路正常运行；当电路中出现异常过压并达到击穿电压时，ESD保护器件由高阻态变为低阻态，给瞬态电流提供低阻抗导通路径，把异常高压箝制在一个安全范围内，进而达到保护被保护IC或线路；同时当异常过压消失，ESD恢复至高阻态。

锗管Is=30~300μA。比较高工作频率Fm：指二极管能保持良好工作特性的比较高工作频率。不同用途的二极管差异01整流二极管大部分二极管所具备的电流方向性我们通常称之为“整流(Rectifying)”功能，将交流电能转变为直流电能。面接触结构，多采用硅材料，能承受较大的正向电流和较高的反向电压。性能较稳定，但因结电容较大，不宜工作在高频电路中，所以不能作为检波管使用。有金属和塑料封装。02检波二极管检波二极管是用于把叠加在高频载波上的低频信号检出来的器件，它具有较高的检波效率和良好的频率特性。锗材料点接触型、工作频率可达400MHz，正向压降小，结电容小，检波效率高，频率特性好，为2AP型。类似点触型那样检波用的二极管，除用于检波外，还能够用于限幅、削波、调制、混频、开关等电路。也有为调频检波的特性一致性好的两只二极管组合件。多采用玻璃封装或陶瓷外壳封装，以获得良好的高频特性。03开关二极管开关二极管是半导体二极管的一种，是为在电路上进行“开”、“关”而特殊设计制造的一类二极管。它由导通变为截止或由截止变为导通所需的时间比一般二极管短。开关二极管的势垒电容一般极小，这就相当于堵住了势垒电容这条路。二极管，就选上海藤谷电子科技有限公司，用户的信赖之选，欢迎您的来电！

在每个周期内，终的输出DC电压和电流均为“ON”和“OFF”。由于负载电阻两端的电压在周期的正半部分（输入波形的50％）出现，因此导致向负载提供的平均DC值较低。整流后的输出波形在“ON”和“OFF”状态之间的变化会产生具有大量“波纹”的波形，这是不希望的特征。产生的直流纹波的频率等于交流电源频率。在对交流电压进行整流时，我们希望产生无任何电压变化或波动的“稳定”且连续的直流电压。这样做的一种方法是在输出电压端子上与负载电阻并联连接一个大容量电容器，如下所示。这种类型的电容器通常被称为“蓄水池”或“平滑电容器”。带滤波电容器的半波整流器当使用整流来从交流（AC）电源提供直流（DC）电源时，可以通过使用更大容量的电容器来进一步减少纹波电压，但在成本和尺寸方面都存在限制使用的电容器。对于给定的电容器值，较大的负载电流（较小的负载电阻）将使电容器放电更快（RC时间常数），因此会增加获得的纹波。然后，对于使用功率二极管的单相，半波整流器电路，尝试通过电容器平滑来降低纹波电压不是很实际。在这种情况下，改为使用“全波整流”会更实际。实际上，半波整流器由于其主要缺点而常用于低功率应用中。输出幅度小于输入幅度。上海藤谷电子科技有限公司二极管获得众多用户的认可。北京专业二极管制品价格

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可以使用h2so4：h2o2＝5:1的化学试剂去除光刻胶。，在半导体环图案对应区域注入离子，经扩散炉中退火处理在半导体环图案对应区域形成半导体环104。具体地，可以在半导体环图案对应区域注入离子(比如硼离子)，使用h2so4：h2o2＝5:1的化学试剂去除表面沾污，然后送入扩散炉，经过1000℃退火，形成半导体环104。步骤s304，请参照图4d，将半导体环104之间的氧化层103蚀刻掉，在蚀刻后形成的区域中制作肖特基结108。在氧化层103远离衬底101的一侧涂覆光刻胶层。通过带有肖特基结图案的掩模对光刻胶层进行光刻，在光刻胶层上刻出肖特基结图案。再接着，蚀刻肖特基结图案对应区域的氧化层103。具体地，使用腐蚀溶剂boe(nh4f40％+hf7％)，在211℃的温度条件下，透过肖特基结图案对氧化层103进行腐蚀，将光刻胶层上的半导体环图案转移到氧化层103上。用化学试剂sc2(hcl:h2o2:h2o＝1:1:6-1:2:8)清洗20分钟，去除表面颗粒，然后用hf的水溶液漂30秒去除肖特基结图案内残余氧化层103。，通过物相淀积法，在肖特基结图案对应区域淀积金属和硅形成金属硅化物，得到肖特基结108。通过物相淀积金属(ti/ni/pt/nipt/cr/nicr等金属)，金属淀积后放入扩散炉中退火处理。江西专业二极管进货价

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